一種高效太陽(yáng)能電池的金屬化制造方法,步驟為:一:對(duì)硅片進(jìn)行拋光和清洗后,進(jìn)行化學(xué)蝕刻和表面制絨;二:在電池正反面同時(shí)進(jìn)行磷摻雜,形成和制造出PN結(jié);三:去除表面的磷硅玻璃;四:用管式擴(kuò)散爐進(jìn)行熱氧化,加工形成鈍化減反膜;五:用PECVD經(jīng)加工形成表面掩膜,然后用絲網(wǎng)印刷在掩膜層上蝕刻正電極圖形,并刷上一次薄銀漿;六:絲網(wǎng)印刷鋁背場(chǎng)和背電極,然后進(jìn)行背部燒結(jié),使銀硅金屬材料合金化,即燒結(jié)銀;七:在正面燒結(jié)銀的表面使用替代金屬化材料以增加?xùn)啪€厚度,所使用替代金屬為:電沉積銀或者電沉積鎳+銅+錫;八:對(duì)電池片進(jìn)行退火;九:完成電池片的功率測(cè)試,導(dǎo)電性測(cè)試,強(qiáng)度測(cè)試后,對(duì)完成電池片分選和包裝。成本低。
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