本發(fā)明公開了一種熔石英元件的飛秒激光改性裝置及其損傷點復(fù)合修復(fù)方法，包括損傷點尺寸測量、飛秒激光改性、溶液腐蝕和殘液清洗的步驟。采用以上技術(shù)方案的熔石英元件的飛秒激光改性裝置及其損傷點復(fù)合修復(fù)方法，先利用飛秒激光改性裝置對熔石英元件需要去除的部分勾勒輪廓改性，再利用化學(xué)溶劑進(jìn)行去除，不僅能夠快速地去除包含損傷點的熔石英塊體，完成對損傷點的復(fù)合修復(fù)，具有高效穩(wěn)定的特點，而且可以避免熱應(yīng)力的殘留，不影響熔石英元件的閾值。