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全息凹面閃耀光柵的母板及其制備方法

941 編輯：管理員來(lái)源：中冶有色網(wǎng)

2023-03-19 08:56:59

本發(fā)明公開(kāi)了一種全息凹面閃耀光柵的母板及其制備方法，制作步驟如下：（1）制備全息凹面光柵掩模；（2）在全息凹面光柵掩模上沉積金屬層；（3）在所述金屬層上涂布粘合劑；（4）將與凸模連接的金屬層和所述全息凹面光柵掩模分離，清洗，獲得凸面金屬光柵掩模；（5）測(cè)量所述凸面金屬光柵掩模的柵齒結(jié)構(gòu)，獲得柵齒占空比信息；采用電鑄或鍍膜的方式以及化學(xué)腐蝕或離子刻蝕的方式調(diào)節(jié)柵齒的占空比；（6）采用離子束刻蝕凸面金屬光柵掩模，使凸面金屬光柵掩模轉(zhuǎn)變成三角形閃耀結(jié)構(gòu)，得到全息凹面閃耀光柵的母板。本發(fā)明將凹面光柵掩模結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到凸面金屬層上，金屬層柔韌性好，光柵槽型結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移精度高，不易開(kāi)裂變形，耐用性好。

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