本發(fā)明公開(kāi)一種復(fù)合絕緣子內(nèi)部氣隙檢測(cè)方法及裝置，所述方法包括：獲取所述正常樣品和缺陷樣品的太赫茲反射波集合，制定二范數(shù)比對(duì)表；獲取所述待測(cè)復(fù)合絕緣子界面處的太赫茲反射波，對(duì)每個(gè)缺陷樣品界面處的太赫茲反射波和所述正常樣品界面處的太赫茲反射波求差值二范數(shù)，得到實(shí)際差值二范數(shù)；若所述實(shí)際差值二范數(shù)小于預(yù)設(shè)閾值，所述待測(cè)復(fù)合絕緣子不存在內(nèi)部氣隙；所述實(shí)際差值二范數(shù)大于或等于預(yù)設(shè)閾值，根據(jù)所述二范數(shù)比對(duì)表和所述實(shí)際差值二范數(shù)，確認(rèn)所述待測(cè)復(fù)合絕緣子的內(nèi)部氣隙尺寸。采用本發(fā)明，實(shí)現(xiàn)基于太赫茲的復(fù)合絕緣子內(nèi)部氣隙缺陷的無(wú)損檢測(cè)，操作簡(jiǎn)便、檢測(cè)精度高。