一種用于光學(xué)元件非球面微結(jié)構(gòu)的同步檢測方法，包括從一激光器出射一束激光并且經(jīng)過一第一光闌后分成兩束，其中一束入射到聚焦鏡上后入射到積分球內(nèi)的待測物體的表面上，所述積分球上安裝有光電接收設(shè)備接收其散射光，并且在該入射到待測物體的光束的反射方向設(shè)置反射光接收器，其中反射的一束光經(jīng)光吸收裝置吸收并且進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換后進(jìn)入計算機作為參考光束，利用上述設(shè)備測得待測物體的散射輻射Rd，以及反射輻射Rs，然后計算得出基于尖銳壓頭印壓的亞表面裂紋深度SSD和基于微小球形壓頭印壓的裂紋深度SSD’。該方法不但所要求的設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單、檢測速度快，檢測準(zhǔn)確，可以達(dá)到納米量級的表面微結(jié)構(gòu)的檢測，成本較低、對表面無損害、測量精度較高。