一種掃描顯微環(huán)境下的薄膜拉伸加載裝置與薄膜變形測量方法,屬顯微掃描無損檢測和精密機械領(lǐng)域。該發(fā)明是通過設(shè)計能進行三維位置和角度調(diào)整的機械結(jié)構(gòu)、壓電陶瓷驅(qū)動系統(tǒng)、力緩沖系統(tǒng)等在原子力掃描顯微鏡和電子束掃描顯微鏡檢測平臺上完成薄膜變形測量,可對微尺度薄膜的全域或局部區(qū)域的變形場進行定量檢測,被測薄膜厚度從數(shù)微米到亞微米厚度,裝置可以多次使用,適合不同厚度和尺度的薄膜材料和結(jié)構(gòu)的變形檢測,可結(jié)合雙曝光數(shù)字散斑技術(shù)、圖像相關(guān)技術(shù)或微標記技術(shù)實現(xiàn)高空間分辨鏡原子力掃描顯微鏡或電子束掃描顯微鏡環(huán)境下的薄膜原位、在線檢測。