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離軸非球面鏡光軸與安裝面夾角的光學(xué)測量系統(tǒng)及方法

942   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:27
本發(fā)明提供了一種離軸非球面鏡光軸與安裝面夾角的光學(xué)測量系統(tǒng)及方法,包括干涉儀、平行平晶、補償器和離軸非球面組件;干涉儀提供光源并檢測非球面面形誤差;干涉儀發(fā)射的光束依次透過平行平晶、補償器到達(dá)離軸非球面組件進(jìn)行反射,所述離軸非球面組件反射出的光線依次透過補償器、平行平晶進(jìn)入干涉儀內(nèi)部的探測器,進(jìn)入所述干涉儀內(nèi)部的光線與干涉儀內(nèi)部的參考光進(jìn)行干涉,形成干涉條紋,并計算得出非球面面形誤差。本發(fā)明可以快速、無損且精確的測量和計算出離軸非球面鏡光軸與支撐結(jié)構(gòu)安裝面之間的夾角。本發(fā)明利用目前的精密儀器設(shè)備和光學(xué)元件,對光學(xué)鏡面無損傷、檢測精度高、耗時短,是一種快速高精度無損檢測技術(shù)。
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