本發(fā)明屬于光學精密測量技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種反射腔式共焦超大曲率半徑測量方法。該方法通過共焦定焦原理配合平行平晶精確定位被測表面的焦點位置，進而實現(xiàn)超大曲率半徑的高精度測量。本發(fā)明提出共焦定焦原理與反射腔式折疊光路原理相結(jié)合的方法，具有被測件移動距離小、光路簡單、測量精度高、測量速度快、抗環(huán)境干擾能力強、對被測表面無損傷等優(yōu)點，可用于超大曲率半徑的高精度非接觸測量。