本發(fā)明公開了一種多鏡面透鏡組鏡面間距的低相干光干涉測量方法和裝置，其中方法包括：產(chǎn)生第一、第二兩低相干光；在第一光路上放置楔形棱鏡組，由楔角相同的第一楔形棱鏡和第二楔形棱鏡組成；在所述第二光路上放置光學(xué)平板和被測多鏡面透鏡組；調(diào)整好被測透鏡組至適當(dāng)位置后，沿楔角的棱面連續(xù)移動第二楔形棱鏡，使得被測透鏡組各鏡面的反射光依次與所述第二楔形棱鏡的楔角的另一棱面的反射光，在CCD相機(jī)接收面上產(chǎn)成干涉條紋，根據(jù)所述第二楔形棱鏡移動過程中，產(chǎn)生相鄰兩次干涉條紋的位置讀數(shù)，計算得到被測多鏡面透鏡組中心軸上相鄰鏡面間距。本發(fā)明，實現(xiàn)了對多鏡面透鏡組的鏡面間距的非接觸無損傷測量，反應(yīng)靈敏，測量精度高。