本發(fā)明提供一種精準推進探針的方法，該方法能夠?qū)Ρ∧みM行無損測量，尤其適用于半導(dǎo)體半導(dǎo)體薄膜，具體地，利用感應(yīng)收縮簧的感應(yīng)端超出導(dǎo)電彈性針頭的一定距離進行測距，并根據(jù)測距結(jié)果控制推進速度和時間，且能夠監(jiān)測到探針與納米級厚度薄膜的接觸應(yīng)力大小。該探針方法適合對半導(dǎo)體半導(dǎo)體薄膜進行無損、穩(wěn)定、可重復(fù)的準確檢測，同時也適合推廣到其它薄膜材料的電學檢測。