本發(fā)明涉及一種光電器件界面缺陷表征方法及裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中光電器件界面處缺陷不能無(wú)損檢測(cè)的技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明的方法包括：建立待測(cè)光電器件的等效電路模型；在設(shè)定的直流偏壓下，根據(jù)設(shè)定的溫度范圍及溫度步長(zhǎng)，在每個(gè)溫度下，變化待測(cè)光電器件兩端交流電壓的角頻率，利用所述等效電路模型，獲取所述光電器件總電容隨所述角頻率變化的測(cè)試曲線，得到不同溫度下的特征頻率；根據(jù)所述不同溫度下的特征頻率，線性擬合得到直線斜率；根據(jù)所述直線斜率，獲取所述光電器件的激活能和俘獲界面，根據(jù)所述激活能和俘獲界面表征光電器件的界面缺陷，實(shí)現(xiàn)對(duì)光電器件的無(wú)損檢測(cè)。