本發(fā)明涉及一種材料表面粗糙度的確定方法及系統(tǒng)。該方法包括獲取材料集合；利用掃描電子顯微鏡對所述材料集合中的材料進行掃描，確定二次電子像集合；對所述二次電子像集合進行灰度處理，得到灰度圖像集合；根據(jù)灰度圖像集合每一灰度圖像對應(yīng)的灰度值與對應(yīng)的表面粗糙度確定灰度值與表面粗糙度的對應(yīng)關(guān)系曲線；獲取待確定的材料；利用掃描電子顯微鏡對待確定的材料進行掃描，確定二次電子像；并對二次電子像進行灰度處理；根據(jù)灰度處理后的二次電子像的灰度值以及灰度值與表面粗糙度的對應(yīng)關(guān)系曲線確定待確定的材料的表面粗糙度。本發(fā)明在真空條件下進行非接觸式測量，樣品不易受污染且無損傷，并具有易精確控制、工藝簡單的優(yōu)點。