本發(fā)明提供一種電介質(zhì)擊穿測(cè)試結(jié)構(gòu)，本發(fā)明通過在待測(cè)試電容結(jié)構(gòu)的漏電流的變化來導(dǎo)通旁路電路，并通過旁路電路的導(dǎo)通來斷開整個(gè)電路，以避免待測(cè)試電容結(jié)構(gòu)的薄弱點(diǎn)在測(cè)試過程中發(fā)生硬擊穿而燒毀，同時(shí)待測(cè)試電容結(jié)構(gòu)的薄弱點(diǎn)位置可以產(chǎn)生一定的漏電流，使得所述待測(cè)試電容結(jié)構(gòu)在測(cè)試過程中可以進(jìn)一步的進(jìn)行失效分析，從而使得待測(cè)試電容結(jié)構(gòu)的缺陷可以被發(fā)現(xiàn)，并作出針對(duì)性的改善。