本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括：傳送腔，設(shè)有位移調(diào)節(jié)器及用于傳送晶圓的傳送手臂，位移調(diào)節(jié)器與傳送手臂相連，用于調(diào)節(jié)傳送手臂的位置；工藝腔，設(shè)有位移傳感器及工藝組件，其中，工藝組件用于承載傳送手臂送入的晶圓，并驅(qū)動(dòng)晶圓旋轉(zhuǎn)，位移傳感器用于探測(cè)工藝組件的偏移量；數(shù)據(jù)控制器，用于接收位移傳感器發(fā)送的偏移量，并根據(jù)偏移量調(diào)控位移調(diào)節(jié)器；本發(fā)明可提高制備的晶圓質(zhì)量；工作人員能及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題降低失效率；避免由于偏移量的不斷增大造成機(jī)臺(tái)部件的損壞；減少由工藝組件位置偏移導(dǎo)致的機(jī)臺(tái)停機(jī)排查率以及減少維修時(shí)間及降低維修難度的問題。