一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的硅電容真空傳感器，涉及微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）傳感器和真空傳感器制造領(lǐng)域，包括上極板、下極板、中間絕緣層、真空腔以及上下極板上的電引線焊盤，真空腔是上極板與中間絕緣層間、或者上極板、中間絕緣層與下極板間形成的密封腔，真空腔內(nèi)設(shè)計(jì)有絕緣支撐柱陣列，所述絕緣支撐柱的頂端面與上極板間留有空隙。本發(fā)明能有效測量高真空度、覆蓋真空度范圍大、制作工藝簡單，有效解決現(xiàn)有技術(shù)的微型電容薄膜傳感器存在的敏感薄膜破裂、粘附失效以及所用玻璃材料放氣等問題。