1.本實用新型涉及太陽能電池技術領域，特別涉及一種用于太陽能電池片鍍膜和光注入的集成設備。 背景技術： 2.光伏發(fā)電已經(jīng)成為一種可替代化石能源的技術，這依賴于近年不斷降低的生產(chǎn)成本和光電轉換效率的提升。按照光伏電池片的材質，太陽能電池大致可以分為兩類：一類是晶體硅太陽能電池，包括單晶硅太陽能電池、多晶硅太陽能電池；另一類是薄膜太陽能電池，主要包括非晶硅太陽能電池、碲化鎘太陽能電池及銅銦鎵硒太陽能電池等。目前，以高純度硅材作為主要原材料的晶體硅太陽能電池是主流產(chǎn)品，所占的比例在80％以上。 3.在晶體硅太陽能發(fā)電系統(tǒng)中，實現(xiàn)光電轉換的最核心步驟之一是將晶體硅加工成實現(xiàn)光電轉換的電池片的工序，因而電池片的光電轉換效率也成為了體現(xiàn)晶體硅太陽能發(fā)電系統(tǒng)技術水平的關鍵指標。 4.提升電池效率，建立鈍化接觸是關鍵。由于光生載流子在硅片內部快速運動，一旦接觸表面就會導致復合而無法收集成電流發(fā)電。如果在表面鍍一層特別的保護膜，像氧化硅、氮化硅、氧化鋁、非晶硅等由于表面晶硅表面化學鍵的飽和以及薄膜和晶硅之間形成的電荷場，它們能有效阻止少子在表面的復合。 5.為了進一步提升效率，新的電池理論模擬要求鈍化層全覆蓋，載流子通過隧道穿透效應到達覆蓋在鈍化層上的導電層。hit電池就是基于這個理念設計的新電池，其具有發(fā)電量高、度電成本低的優(yōu)勢。 6.hit電池也叫做異質結電池，其全稱為晶體硅異質結太陽能電池。hit電池最早由日本三洋公司研發(fā)，其后日本的kaneka、美國的solarcity等相關企業(yè)相繼進行跟進。相較于傳統(tǒng)的太陽能電池而言，hit電池創(chuàng)新性的采用了單晶硅襯底和非晶硅薄膜異質結的結構，其在晶體硅上沉積非晶硅薄膜的做法，讓hit電池兼具了晶體硅電池與薄膜電池的優(yōu)勢。hit電池具有結構簡單、穩(wěn)定性高、電池成本低、工藝溫度低、光電轉換效率高、溫度特性好、雙面發(fā)電等眾多的特點，hit電池組件為電池行業(yè)從業(yè)者公認的未來電池技術終極解決方案，也被譽為光伏電池產(chǎn)業(yè)的下一個風口。 7.hit電池作為一種高效太陽能電池，它的常規(guī)制備流程是：1、清洗制絨；2.非晶硅鍍膜；3、tco鍍膜；4、印刷銀線。然而，最新研究發(fā)現(xiàn)，在太陽能電池制造完成后，在高于200℃的溫度下，對太陽能電池表面進行一段時間的強光照射，電池的光電轉換效率可以進一步提升0.2 ? 1.0％。因此，為進一步提升hit