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PECVD系統(tǒng)

PECVD系統(tǒng)

275
規(guī)格/型號：KJ-T1200-PE
品牌：鴻爐機(jī)械
應(yīng)用領(lǐng)域：材料制備
產(chǎn)地：河南 - 鄭州
廠家/供應(yīng)商：河南鴻爐機(jī)械設(shè)備有限公司
咨詢電話:：177-3714-9370（請說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）
更新時間：2025-07-29
級別：待認(rèn)證

PECVD系統(tǒng)說明介紹


設(shè)備介紹

該產(chǎn)品是由射頻電源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積，同時可實現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。

產(chǎn)品優(yōu)勢

更好的沉積效率

PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

所需溫度更低

PECVD對于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

成品質(zhì)量好

具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號 KJ-T1200-PE

外殼 不銹鋼

內(nèi)襯 兩層氧化鋁纖維

加熱元件 電阻絲

最高溫度 1200°C

工作溫度 ≤1100 °C

溫度均勻 ±1°C

升溫速率 ≤10 °C/min

爐管尺寸 Φ200×1400mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

管材 優(yōu)質(zhì)石英管

加熱區(qū)長度 300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

密封 法蘭

溫度控制 30 個可編程段，用于準(zhǔn)確控制加熱速率、冷卻速率和停留時間。

內(nèi)置 PID 自動調(diào)諧功能，具有過熱和熱電偶斷路保護(hù)。

過溫保護(hù)和警報允許在沒有服務(wù)人員的情況下進(jìn)行操作。

+/- 1 oC 溫度精度。

準(zhǔn)確 ±1°C
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河南鴻爐機(jī)械設(shè)備有限公司
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所屬領(lǐng)域：
材料制備
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