本公開涉及電子材料技術(shù)領(lǐng)域，具體提供一種二氧化鈦/銀/二氧化鈦透明導(dǎo)電膜及其制備方法與應(yīng)用。 背景技術(shù)： 這里的陳述僅提供與本公開有關(guān)的背景信息，而不必然構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)。 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和人民生活水平的不斷提高，高分辨率，大尺寸平面顯示器，太陽能電池，節(jié)能紅外反射膜，電致變色窗等廣泛應(yīng)用，對透明導(dǎo)電薄膜的需求愈來愈大。透明導(dǎo)電薄膜不但要求好的導(dǎo)電性，還要有優(yōu)良的可見光透光性。從物理學(xué)的角度，物質(zhì)的透光性和導(dǎo)電性是一對基本矛盾。而透明導(dǎo)電薄膜正是將透明性與導(dǎo)電性相結(jié)合成為功能材料中具有特色的一類薄膜，在光電產(chǎn)業(yè)中具有廣闊的應(yīng)用前景。為了使材料具有通常所述的導(dǎo)電性，就必須使其費米球的中心偏離動量空間原點，也就是說，按照能帶理論在費米球及附近的能級分布很密集，被電子占據(jù)的能級和空能級之間不存在能隙。這樣當(dāng)有入射光進(jìn)入時，很容易產(chǎn)生內(nèi)光電效應(yīng)，光由于激發(fā)電子失掉能量而衰減。所以，從透光性的角度不希望產(chǎn)生內(nèi)光電效應(yīng)，就要求禁帶寬度必須大于光子能量。 寬帶透明導(dǎo)電氧化物半導(dǎo)體，要保持良好的可見光透光性，其等離子頻率就要小于可見光頻率，要保持一定的導(dǎo)電性就需要定的載流子濃度，而等離子頻率與載流子濃度成比例。透明導(dǎo)電膜的開發(fā)就是基于如何使二者更好的有機(jī)統(tǒng)一起來。自從在透明導(dǎo)電氧化物(tco)中第一次發(fā)現(xiàn)透光性與導(dǎo)電性可以共存后，新型tco的開發(fā)及復(fù)合多層膜的設(shè)計都是圍繞著這樣一對矛盾體進(jìn)行的。tco可通過成分調(diào)整實現(xiàn)對帶隙結(jié)構(gòu)、載流子濃度和遷移率以及功函數(shù)等的控制來使其透光性與導(dǎo)電性矛盾的統(tǒng)一。單一金屬膜由于透光性較差使其應(yīng)用受到限制，因此，常與高折射率的電介質(zhì)形成復(fù)合多層膜，這樣就將金屬的導(dǎo)電性與消反增透膜的透光性有機(jī)的統(tǒng)一起來，后來發(fā)展的高折射率tco與金屬的復(fù)合也都獲得了很好的透光性與導(dǎo)電性匹配。早期研究根據(jù)材料的不同可將其分為金屬透明導(dǎo)電薄膜、氧化物透明導(dǎo)電薄膜(tco)、非氧化物透明導(dǎo)電薄膜及高分子透明導(dǎo)電薄膜。 近幾年來薄膜工藝得到迅猛發(fā)展特別是透明導(dǎo)電薄膜方面部分已經(jīng)實現(xiàn)了工業(yè)化生產(chǎn)。自1907年bakdeker將濺射的鎘進(jìn)行熱氧化首次制備出透明導(dǎo)電氧化鎘薄膜以來相繼出現(xiàn)了sno2基薄膜in2o3基薄膜等不同類型的透明導(dǎo)電薄膜材料，并在眾多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了應(yīng)用形成了一定的市場規(guī)模。其中應(yīng)用最廣泛的是ito薄膜，但是該薄膜制備過程及應(yīng)用存在著很大的缺點即in的毒性