權(quán)利要求書： 1.一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述裝置主要包括：冷卻裝置(1)、干燥箱(2)、手套箱(3)； 其中，所述冷卻裝置(1)、干燥箱(2)、手套箱(3)通過(guò)空氣管路連通；空氣通過(guò)氣泵抽送進(jìn)入到冷卻裝置(1)，冷卻后的空氣通過(guò)管路輸送到干燥箱(2)，干燥后的冷空氣通過(guò)管路輸送入手套箱(3)內(nèi)； 所述干燥箱(2)內(nèi)含有可更換的干燥劑(22)，手套箱(3)內(nèi)設(shè)有加熱板和可更換的納米鐵粉包。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述冷卻裝置內(nèi)部的空氣管路為螺旋盤管(11)。 3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述干燥箱(2)中設(shè)有多根裝有干燥劑(22)的管路(21)。 4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述干燥劑(22)采用氧化鈣、硅膠、氧化鋁凝膠、分子篩或活性炭。 5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述手套箱(3)的內(nèi)壁設(shè)置有夾層，夾層內(nèi)設(shè)置有冷卻盤管。 6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，其特征在于，所述冷卻盤管內(nèi)冷卻物質(zhì)為冷凍鹽水或者≤3℃的水。 說(shuō)明書： 一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及鈣鈦礦太陽(yáng)能電池加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置。背景技術(shù)[0002] 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的光吸收層是鈣鈦礦薄膜，鈣鈦礦薄膜的結(jié)晶質(zhì)量對(duì)太陽(yáng)能電池的光伏性能有著重要影響。在鈣鈦礦薄膜結(jié)晶過(guò)程中，需要在無(wú)水少氧的氛圍內(nèi)退火(100?150℃)，退火后可實(shí)現(xiàn)較好的薄膜結(jié)晶質(zhì)量。手套箱中設(shè)置有加熱板，加熱板通電后發(fā)熱，可對(duì)手套箱加熱達(dá)到退火要求的溫度范圍。退火的處理是在手套箱中的加熱板上進(jìn)行，在干燥且連續(xù)冷卻的空氣氣氛下，旋涂了鈣鈦礦薄膜的導(dǎo)電玻璃或其他基體在加熱板上被退火；由于加熱板持續(xù)放出較大熱量，會(huì)造成手套箱內(nèi)空氣溫度持續(xù)升高，影響手套箱安全，因此需要持續(xù)將手套箱中的高溫氣體排出。[0003] 針對(duì)以上技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備用真空冷干裝置，能夠有效去除進(jìn)入手套箱內(nèi)空氣