權(quán)利要求書: 1.一種太陽(yáng)能電池的制造方法,是具備半導(dǎo)體基板、層疊在上述半導(dǎo)體基板的與一個(gè)主面?zhèn)认喾吹囊粋?cè)的另一個(gè)主面?zhèn)鹊囊徊糠忠嗉吹谝粎^(qū)域的第一導(dǎo)電型半導(dǎo)體層、以及層疊在上述半導(dǎo)體基板的上述另一個(gè)主面?zhèn)鹊牧硪徊糠忠嗉吹诙^(qū)域的第二導(dǎo)電型半導(dǎo)體層的背面接合型的太陽(yáng)能電池的制造方法,所述太陽(yáng)能電池的制造方法包含以下工序:第一半導(dǎo)體層材料膜形成工序,在上述半導(dǎo)體基板的上述另一個(gè)主面?zhèn)刃纬缮鲜龅谝粚?dǎo)電型半導(dǎo)體層的材料膜;
剝離層形成工序,在上述第一導(dǎo)電型半導(dǎo)體層的材料膜上形成剝離層;
第一半導(dǎo)體層形成工序,除去上述第二區(qū)域的上述剝離層以及上述第一導(dǎo)電型半導(dǎo)體層的材料膜,由此在上述第一區(qū)域形成圖案化的上述第一導(dǎo)電型半導(dǎo)體層以及上述剝離層;
第二半導(dǎo)體層材料膜形成工序,在上述第一區(qū)域的上述剝離層以及上述第二區(qū)域上形成上述第二導(dǎo)電型半導(dǎo)體層的材料膜;以及第二半導(dǎo)體層形成工序,除去上述剝離層,由此除去上述第一區(qū)域的上述第二導(dǎo)電型半導(dǎo)體層的材料膜,在上述第二區(qū)域形成圖案化的上述第二導(dǎo)電型半導(dǎo)體層,上述第二半導(dǎo)體層形成工序包含:至少一次蝕刻工序,將上述半導(dǎo)體基板浸漬在用于除去上述剝離層的蝕刻溶液;以及至少一次沖洗工序,將上述半導(dǎo)體基板浸漬在用于沖洗上述半導(dǎo)體基板的表面的沖洗溶液,在上述蝕刻工序以及上述沖洗工序中的至少一個(gè)工序中,在溶液中添加抑制被除去的剝離層和/或第二導(dǎo)電型半導(dǎo)體層的材料膜再附著于上述半導(dǎo)體基板的主面的附著抑制劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池的制造方法,其中,上述第二半導(dǎo)體層形成工序包含依次進(jìn)行的多個(gè)上述沖洗工序,在多個(gè)上述沖洗工序中的第二個(gè)以后的上述沖洗工序中,在上述沖洗溶液中添加上述附著抑制劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽(yáng)能電池的制造方法,其中,上述附著抑制劑是表面活性劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的太陽(yáng)能電池的制造方法,其中,含有上述表面活性劑的上述沖洗溶液的pH是7以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的太陽(yáng)能電池的制造方法,其中,上述表面活性劑含有陰離子系的表面活性劑或者陽(yáng)離子系的表面活性劑或者它們的混合劑。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太陽(yáng)能電池的制造方法,其中,上述表面活性劑是含有芳香族構(gòu)造以及長(zhǎng)鏈直鏈狀烷基構(gòu)造的有機(jī)酸。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的太陽(yáng)能電池的制造方法,其中,上述表面
聲明:
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