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叉指背接觸太陽(yáng)能電池的制作方法及制得的叉指背接觸太陽(yáng)能電池

470   編輯:中冶有色網(wǎng)   來(lái)源:橫店集團(tuán)東磁股份有限公司  
2024-02-21 14:22:40
權(quán)利要求書(shū): 1.一種叉指背接觸太陽(yáng)能電池的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括如下步驟:(1)準(zhǔn)備硅基體并進(jìn)行雙面拋光; (2)在拋光后的所述硅基體的背面進(jìn)行開(kāi)窗,形成第一凹槽及未開(kāi)窗凸面區(qū),使所述硅基體的背面形成凹凸交替排列的錯(cuò)落結(jié)構(gòu); (3)在拋光后的所述硅基體的正面進(jìn)行制絨,形成制絨結(jié)構(gòu); (4)在所述制絨結(jié)構(gòu)及所述錯(cuò)落結(jié)構(gòu)上均進(jìn)行硼擴(kuò),分別形成正面BSG層及背面BSG層; (5)對(duì)所述正面BSG層及所述背面BSG層進(jìn)行修飾減薄,形成正面減薄BSG層及背面減薄BSG層; (6)在所述正面減薄BSG層及所述背面減薄BSG層上制備鈍化膜,得到正面鈍化層及背面鈍化層; (7)在所述背面鈍化層上的第一凹槽或未開(kāi)窗凸面區(qū)的對(duì)應(yīng)位置再次開(kāi)窗,形成第二凹槽,暴露出所述背面減薄BSG層;再通過(guò)所述第二凹槽中的所述背面減薄BSG層進(jìn)行磷擴(kuò); (8)通過(guò)絲網(wǎng)印刷,在所述第二凹槽中形成負(fù)電極,使所述負(fù)電極與所述磷擴(kuò)形成的摻雜區(qū)域產(chǎn)生歐姆接觸;并制作正電極,使所述正電極穿過(guò)所述背面鈍化層與所述硼擴(kuò)形成的摻雜區(qū)域產(chǎn)生歐姆接觸,得到叉指背接觸太陽(yáng)能電池; 其中,步驟(2)與步驟(3)不分先后順序。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,步驟(1)所述雙面拋光包括先進(jìn)行粗拋,清洗后再進(jìn)行堿拋; 優(yōu)選地,步驟(1)所述硅基體包括N型和/或P型硅片; 優(yōu)選地,所述粗拋使用的粗拋水溶液包括NaOH和/或KOH; 優(yōu)選地,所述粗拋水溶液中NaOH和/或KOH與水的體積配比為(2~10):(300~380); 優(yōu)選地,所述粗拋的溫度為69~79℃,時(shí)間為100~180s; 優(yōu)選地,所述堿拋使用的堿拋水溶液包括NaOH和/或KOH以及堿拋添加劑; 優(yōu)選地,所述堿拋水溶液中NaOH和/或KOH、堿拋添加劑及水的體積配比為(6~10):(4~6):(335~340); 優(yōu)選地,所述堿拋的溫度為65~80℃,時(shí)間為200~300s。 3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制作方法,其特征在于,步驟(2)及步驟(7)所述開(kāi)窗的方法包括激光開(kāi)窗和/或掩膜腐蝕; 優(yōu)選地,步驟(2)所述第一凹槽的深度為5~20μm,寬度為60~900μm; 優(yōu)選地,步驟(2)所述未開(kāi)窗凸面區(qū)的寬度為600~1500μm; 優(yōu)選地,步驟(
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