本發(fā)明公開一種利用微波加熱氯化焙燒提純石英砂的方法，包括如下步驟：(1)將石英礦石破碎篩分，得到石英砂；(2)將石英砂與氯化物鹽進行均勻混合，得到混合物；(3)將所述混合物進行微波加熱，然后保溫，得到經(jīng)微波處理后的石英砂；(4)將經(jīng)微波處理后的石英砂倒進水中進行水淬并在水中浸泡漂洗去除殘余的氯化物鹽后撈出；(5)將石英砂與酸性溶液混合進行酸浸處理；(6)將石英砂撈出，用水沖洗清洗至中性，烘干。本發(fā)明提高石英砂中雜質(zhì)元素特別是重點雜質(zhì)元素Al的去除率，達到97.6％，其含量降低到17.9ppm，接近電子級超高純石英砂需要的水平，處理溫度相對較低，能耗低，對設(shè)備腐蝕程度小，采用氯化物鹽作為氯化劑，操作簡便易行，易于在工業(yè)生產(chǎn)中推廣應用。