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電極表面不同區(qū)域同時(shí)電沉積不同成分比例薄膜的方法

2138   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:常州大學(xué)  
2022-03-24 15:55:45
權(quán)利要求 1.在電極表面不同區(qū)域同時(shí)電沉積不同成分比例薄膜的方法,其特征在于:所述方法適用于合金電沉積,包括如下步驟: (1)根據(jù)電極基底表面的薄膜成分分布,將電極基底表面劃分為梯度磁場(chǎng)施加區(qū)域和非梯度磁場(chǎng)施加區(qū)域; (2)制備梯度磁場(chǎng)模板,所述梯度磁場(chǎng)模板上分布有鐵磁性金屬或合金,且鐵磁性金屬或合金構(gòu)建成所需圖形; (3)磁場(chǎng)電沉積,將梯度磁場(chǎng)模板置于主磁體中,梯度磁場(chǎng)模板上分布的鐵磁性金屬或合金磁化,產(chǎn)生垂直于電極基底且平行于電流方向的梯度磁場(chǎng),梯度磁場(chǎng)在電沉積過程中持續(xù)或間歇發(fā)生。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在電極表面不同區(qū)域同時(shí)電沉積不同成分比例薄膜的方法,其特征在于:步驟(2)中梯度磁場(chǎng)模板還包括樹脂基板,所述鐵磁性金屬或合金按所需圖形嵌裝在樹脂基板內(nèi)。  3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在電極表面不同區(qū)域同時(shí)電沉積不同成分比例薄膜的方法,其特征在于:步驟(3)中以電極基底作為陰極,并將梯度磁場(chǎng)模板貼裝在電極基底上,然后整體放入電解槽內(nèi),控制梯度磁場(chǎng)模板與電解槽的內(nèi)壁貼合,同時(shí)電極基底背離梯度磁場(chǎng)模板的一側(cè)與陽極相對(duì)且相互平行,梯度磁場(chǎng)模板一側(cè)的電解槽外壁上放置有鐵釹硼永磁體,電解槽內(nèi)裝有電解液,電解液中含有至少一種具有順磁性的元素,然后在陰極和陽極間施加恒電壓,進(jìn)行所述磁場(chǎng)電沉積過程。 說明書 在電極表面不同區(qū)域同時(shí)電沉積不同成分比例薄膜的方法 技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明屬于電沉積技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及在電極表面不同區(qū)域同時(shí)電沉積不同成分比例薄膜的方法。 背景技術(shù) 為滿足功能材料各異的性能需求,電沉積技術(shù)除了可以制備均勻的二維薄膜材料,還可以制備多種復(fù)雜結(jié)構(gòu)。通過電位調(diào)控等手段可以在垂直于基底方向有效構(gòu)筑各種沉積薄膜的結(jié)構(gòu)與組成,但很難在基底電極的不同區(qū)域(橫向)對(duì)沉積薄膜組成及結(jié)構(gòu)進(jìn)行精準(zhǔn)調(diào)控(見圖1),這種結(jié)構(gòu)材料在各類電子器件中都有著重要的應(yīng)用及前景,如橫向巨磁阻、橫向同/異質(zhì)結(jié)、熱電器件等。 發(fā)明內(nèi)容 本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有電沉積領(lǐng)域無法實(shí)現(xiàn)電極表面不同區(qū)域不同成分比例薄膜的可控制備的技術(shù)空白,提供一種簡(jiǎn)單易行的在電極表面不同區(qū)域同時(shí)電沉積不同成分比例薄膜的方法,能精準(zhǔn)控制鍍層在基底表面成分分布。 為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明
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