權(quán)利要求 1.光調(diào)制的微環(huán)諧振腔，其特征在于，包括：基底層（1）；微環(huán)諧振腔層，所述微環(huán)諧振腔層由可逆的相變材料薄膜（2）制成，所述微環(huán)諧振腔層包括直母線波導(dǎo)（4）、環(huán)形波導(dǎo)（5）、耦合區(qū)（6），在所述的相變材料薄膜（2）上通過外部激勵(lì)信號(hào)直寫刻畫有直母線波導(dǎo)（4）和環(huán)形波導(dǎo)（5），所述的直母線波導(dǎo)（4）和環(huán)形波導(dǎo)（5）通過耦合區(qū)（6）耦合；包層薄膜層，所述包層薄膜層由包層薄膜（3）制成。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光調(diào)制的微環(huán)諧振腔，其特征在于，所述的環(huán)形波導(dǎo)（5）的折射率＞所述的直母線波導(dǎo)（4）的折射率＞未設(shè)有波導(dǎo)區(qū)域的相變材料薄膜（2）的折射率＞所述的基底層（1）和所述的包層薄膜（3）折射率。 3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光調(diào)制的微環(huán)諧振腔，其特征在于，所述的環(huán)形波導(dǎo)（5）的折射率比直母線波導(dǎo)（4）的折射率大0.1~0.5。 4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光調(diào)制的微環(huán)諧振腔，其特征在于，所述的直母線波導(dǎo)（4）包括左側(cè)直波導(dǎo)（41）、弧形波導(dǎo)（42）和右側(cè)直波導(dǎo)（43）；所述的弧形波導(dǎo)（42）的兩端分別與左側(cè)直波導(dǎo)（41）和右側(cè)直波導(dǎo)（43）連接，所述的弧形波導(dǎo)（42）與環(huán)形波導(dǎo)（5）耦合，弧形波導(dǎo)（42）與環(huán)形波導(dǎo)（5）共同構(gòu)成耦合區(qū)（6）。 5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光調(diào)制的微環(huán)諧振腔，其特征在于，所述的弧形波導(dǎo)（42）與環(huán)形波導(dǎo)（5）具有共同的圓心。 6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光調(diào)制的微環(huán)諧振腔，其特征在于，所述的弧形波導(dǎo)（42）所對應(yīng)的扇形的圓心角為30°；所述的環(huán)形波導(dǎo)（5）的半徑值為20um~200um。 7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光調(diào)制的微環(huán)諧振腔，其特征在于，所述的環(huán)形波導(dǎo)（5）與弧形波導(dǎo)（42）之間的間隙為100nm ~800nm。 8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的光調(diào)制的微環(huán)諧振腔，其特征在于，光信號(hào)從左側(cè)直波導(dǎo)（41）輸入，并在耦合區(qū)（6）中通過倏逝波耦合，光信號(hào)通過耦合進(jìn)入到環(huán)形波導(dǎo)（5）中，并沿著逆時(shí)針方向進(jìn)行傳輸；當(dāng)倏逝波滿足在環(huán)形波導(dǎo)（5）內(nèi)傳輸一周產(chǎn)生2π的相移時(shí)，在環(huán)形波導(dǎo)（5）的環(huán)中發(fā)生諧振，此時(shí)環(huán)形波導(dǎo)（5）的半徑滿足表達(dá)式：2πRneff=mλ，其中，neff為波導(dǎo)的有效折射率，R為環(huán)形波導(dǎo)（5）的半徑，λ為光波的波長；m指波長的整數(shù)倍