本發(fā)明公開(kāi)了一種能夠提升介電性能的壓電薄膜生產(chǎn)工藝，具體涉及功能材料制備技術(shù)領(lǐng)域。通過(guò)對(duì)壓電薄膜的介電系數(shù)以及加工環(huán)節(jié)中流程對(duì)壓電薄膜介電系數(shù)的影響進(jìn)行分析，可以得出壓電薄膜的結(jié)晶相本征介電性和壓電薄膜的尺寸效應(yīng)是介電特性主要的變化依據(jù)，根據(jù)分析結(jié)果，進(jìn)行了初始薄膜制備、單軸拉伸、高壓極化、磁控濺射等制備工藝，對(duì)每項(xiàng)工藝步驟的參數(shù)進(jìn)行探索，并對(duì)PVDF敏感材料進(jìn)行傳感器封裝，進(jìn)行了傳感器產(chǎn)品非常重要的壓電系數(shù)參數(shù)的檢測(cè)，其靜態(tài)壓電系數(shù)d33達(dá)到13.1PC/N，滿(mǎn)足使用要求，獲得可以實(shí)際工程配套的工程化產(chǎn)品，提高了對(duì)壓電薄膜的自動(dòng)化加工效果，且在保障加工效率的同時(shí)對(duì)壓電薄膜的介電性起到了保障的作用。