本發(fā)明的提出了一種基于氧化鎵的三維日盲光電探測器，為高性能3D日盲光電探測器的制備和研究奠定基礎(chǔ)。本發(fā)明是按照下述步驟進(jìn)行的：(1)清洗柔性襯底；(2)采用射頻磁控濺射技術(shù)在柔性襯底上室溫沉積a?Ga2O3薄膜；(3)在a?Ga2O3薄膜上利用熱蒸發(fā)技術(shù)在上面蒸發(fā)一層金屬薄膜；(4)采用光刻技術(shù)在有金屬薄膜的a?Ga2O3上制備電極，得到具有MSM結(jié)構(gòu)的2D光電探測器陣列；(5)采用剪切折疊技術(shù)，把2D光電探測器陣列制備成3D光電探測器。本發(fā)明利用簡單的剪切和折疊技術(shù)制備3D日盲光電探測器。該制備方法工藝簡單、成本低廉，而且選用非晶Ga2O3作為日盲光響應(yīng)層，有效改善了在彎折過程中，功能材料的斷裂和脫離現(xiàn)象。