本發(fā)明公開了一種能夠應力調(diào)控的石墨烯膜光纖法珀諧振器及其制作方法。該諧振器以石墨烯膜為諧振敏感材料，利用SU?8光刻膠制作形成一個光纖定位帽，并由光纖端面和吸附于光纖定位帽端面的石墨烯膜形成法布里?珀羅干涉腔。所述的制作方法將MEMS微加工技術與近紫外光刻技術相結(jié)合，首先，在氧化硅基片與形變可控的襯底層之間旋涂PDMS作為釋放層，使得襯底層與硅基片的分離變得更容易；之后，在制成的應力調(diào)控襯底層的另一側(cè)，旋涂SU?8光刻膠，并通過光刻技術制作具有臺階式圓筒狀內(nèi)部結(jié)構的定位帽以實現(xiàn)光纖的導入與定位；最后，通過環(huán)氧樹脂膠將插入的光纖與定位帽進行粘合封裝。本發(fā)明制備得的諧振器具有結(jié)構新穎、體積小、薄膜應力可調(diào)控等優(yōu)點。