本發(fā)明提供了一種平面波導(dǎo)裝置的制造方法，包括以下步驟：a.在波導(dǎo)的表面上形成第一組膜層區(qū)段，該第一組膜層區(qū)段中的相鄰區(qū)段之間彼此隔開；b.使用掩膜對該第一組膜層區(qū)段進(jìn)行曝光，以固化該第一組膜層區(qū)段的所需部分；c.去除該第一組膜層區(qū)段中未經(jīng)固化的邊緣部分；d.在該第一組膜層區(qū)段中的至少部分相鄰區(qū)段之間形成第二組膜層區(qū)段；以及e.使用掩膜對該第二組膜層區(qū)段進(jìn)行曝光，以固化該第二組膜層區(qū)段。