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柔性壓力傳感器及其制造方法

1189   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:11:01
本發(fā)明涉及一種柔性壓力傳感器及其制造方法,一種柔性壓力傳感器,包括絕緣外殼、微流道柔性導(dǎo)線層、壓力敏感層;所述微流道柔性導(dǎo)線層設(shè)置在絕緣外殼內(nèi),所述微流道柔性導(dǎo)線層的中心設(shè)有“回”型流道,所述“回”型流道內(nèi)填充液態(tài)金屬;所述壓力敏感層位于兩組微流道柔性導(dǎo)線層中間,與兩組“回”型柔性微流道柔性導(dǎo)線對(duì)應(yīng)位置設(shè)有凹槽,凹槽內(nèi)填充柔性壓敏材料。本發(fā)明以3D打印方法一次性制作導(dǎo)電復(fù)合材料傳感器及內(nèi)部微流道,將鎵基液態(tài)金屬注入微流道并封閉注射口后實(shí)現(xiàn)電路連接,得到耐彎折柔性壓力傳感器。
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