本發(fā)明公開了一種微波退火裝置，該裝置包含：殼體；套置于該殼體內(nèi)的微波退火池；設(shè)置在該殼體與微波退火池頂部的頂蓋，用于封閉微波退火池；其中，該微波退火池為包含一中空部的容器，該容器的底部設(shè)置有石英坩堝，用于放置退火樣品。本發(fā)明提供的微波退火裝置制作成本低，保溫性能好，測溫方便，可以靈活對(duì)不同介電常數(shù)的物質(zhì)實(shí)現(xiàn)微波退火和燒結(jié)；而且，本發(fā)明的裝置可以實(shí)現(xiàn)平行的微波退火，相較馬弗爐退火，能節(jié)約大量的時(shí)間。