一種基于多場耦合的鐵電材料減薄加工方法，鐵電材料表面減薄加工時(shí)施加反向電場，反向熱場和化學(xué)場多場耦合作用，所述方法包括以下步驟：(1)表面加工鐵電材料，砂輪以ns的轉(zhuǎn)速，f的進(jìn)給速度對鐵電材料進(jìn)行加工，鐵電材料的轉(zhuǎn)速是nw；(2)加工時(shí)施加反向電場，反向熱場和化學(xué)場，電場，熱場和化學(xué)場交互作用。本發(fā)明提供一種提高加工效率的基于多場耦合的鐵電材料減薄加工方法。