一種超短脈沖激光誘導(dǎo)自組裝特性進行大面積光柵制作方法，包括基板制備、多束脈沖激光并行處理方式和表面光柵結(jié)構(gòu)向石英玻璃襯底轉(zhuǎn)移。該方法在激光光斑輻照的直徑范圍內(nèi)，會自發(fā)形成周期精度很高的光柵結(jié)構(gòu)，且其光柵結(jié)構(gòu)可以無縫、整齊地隨著激光光斑的移動掃描進行大面積自發(fā)生長；該方法具有光柵的制作速度高、光柵面積大、高質(zhì)量和激光誘導(dǎo)自組裝的特點。