本發(fā)明公開(kāi)了一種制備紅外復(fù)合材料的方法和真空化學(xué)氣相沉積爐，其中，所述方法包括在同一真空化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)連續(xù)沉積ZnSe和ZnS，將裝有固體鋅料的坩堝加熱至500～750℃，使鋅升華產(chǎn)生鋅蒸汽，然后將沉積室加熱至650～800℃，通入硒化氫，開(kāi)始沉積ZnSe，沉積完成后，停止通入硒化氫，沉積室降溫至600～750℃，通入硫化氫氣體，開(kāi)始沉積ZnS，整個(gè)沉積過(guò)程載流氣體的流量保持不變，沉積完成后進(jìn)行升溫退火處理，出爐即得ZnSe/ZnS紅外復(fù)合材料。本發(fā)明有效縮短了ZnSe/ZnS紅外復(fù)合材料的生產(chǎn)周期，簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，降低了生產(chǎn)成本。