一種一步式和室溫處理工藝，利用超快脈沖激光燒蝕氧化鈦或金屬鈦靶將金 屬氧化物，如結(jié)晶二氧化鈦(TiO2)的納米顆?；蚣{米復(fù)合材料(納米顆粒組合的)薄 膜沉積在基片表面上。所述系統(tǒng)包括脈沖激光，它的脈沖持續(xù)時間范圍從幾飛秒 至幾十皮秒；光學(xué)設(shè)置，用于處理激光束，使得激光束以適當(dāng)?shù)钠骄芰棵芏群?適當(dāng)?shù)哪芰棵芏确植季劢乖诎斜砻嫔?；和真空腔，其中安裝有靶和基片，并且在 其中可適當(dāng)調(diào)節(jié)背景氣體和它們的壓強(qiáng)。