本發(fā)明適用于新能源材料領(lǐng)域，提供了一種具有自修復(fù)能力的無機(jī)柔性熱電薄膜器件，所述無機(jī)柔性熱電薄膜器件的兩端分別為冷端和熱端，所述無機(jī)柔性熱電薄膜器件包括多片熱電薄膜主體、襯底及電極，多片所所述熱電薄膜主體及電極分別設(shè)于所述襯底上，多片所述熱電薄膜主體通過所述電極串聯(lián)。該無機(jī)柔性熱電薄膜器件結(jié)構(gòu)簡單，形狀可控，可以根據(jù)應(yīng)用場景的不同做出相應(yīng)調(diào)整而不影響其自修復(fù)能力；首次在無機(jī)熱電薄膜中實現(xiàn)了自修復(fù)功能；利用磁控濺射工藝，可以大面積制備，且襯底材料便宜，生產(chǎn)成本低。