本發(fā)明涉及一種原子層沉積LiPON固態(tài)電解質(zhì)薄膜的制備方法。本發(fā)明屬于新能源材料技術(shù)領(lǐng)域。原子層沉積LiPON固態(tài)電解質(zhì)薄膜的制備方法，通過原子層沉積方法生長(zhǎng)LiPON固態(tài)電解質(zhì)薄膜：只采用普通的原子層沉積設(shè)備，不需要等離子體發(fā)生器進(jìn)行輔助或增強(qiáng)；ALD沉積過程中只采用兩種反應(yīng)前驅(qū)體源，其中一種為鋰前驅(qū)體源，另一種為磷和氮一體化前驅(qū)體源；在一定溫度下通過ALD生長(zhǎng)制備LiPON固態(tài)電解質(zhì)薄膜。本發(fā)明具有膜層厚度能實(shí)現(xiàn)原子層尺度級(jí)精確控制、工藝簡(jiǎn)單、操作方便、離子電導(dǎo)率高等優(yōu)點(diǎn)。