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硅片切割液及其制備方法

776   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 20:25:16
本發(fā)明屬于光電材料新能源技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種硅片切割液及其制備方法。為了克服現(xiàn)有硅片切割液成本高昂,且對(duì)碳化硅微粉的分散和再分散能力較差的缺點(diǎn),提供一種硅片切割液,包含76~80Wt%的二乙二醇,15~17Wt%的聚乙二醇、2~3.5Wt%的丙三醇、0.5~1.5Wt%的脂肪醇聚氧乙烯醚、0.7~1.2Wt%的去離子水、0.2~0.5Wt%的消泡劑、0.2~0.5Wt%的分散劑及0.1~0.3Wt%的抗氧劑。由于其主要原料為二乙二醇,制備工藝簡(jiǎn)單,易于操作,成本低廉,有效提高碳化硅微粉的分散性和再分散性,確保了漿料的穩(wěn)定性和持久性,且具有很好的潤(rùn)滑效果,有效降低切割時(shí)的表面損失,提高切割良率。本發(fā)明適用于硅片切割工藝。
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