本發(fā)明公開了一種硅基材料中硅含量和氧含量的測試方法及測試裝置，涉及材料、新能源領(lǐng)域。測試方法包括將硅基材料和反應(yīng)溶液先后放入密閉反應(yīng)器中，通過壓力傳感器監(jiān)測密閉反應(yīng)器中氣體的壓力變化，根據(jù)密閉反應(yīng)器內(nèi)腔的容積、溫度和氣體壓力變化，利用氣態(tài)方程得到氣體摩爾數(shù)，進(jìn)而根據(jù)硅基材料和反應(yīng)溶液的化學(xué)反應(yīng)方程式得到反應(yīng)消耗的未氧化的硅含量，隨后根據(jù)硅基材料初始質(zhì)量得到完全氧化的硅含量，根據(jù)硅基材料的化學(xué)式得到其氧含量，進(jìn)而得到硅基材料的硅氧比例。本發(fā)明利用氣體壓力與硅基材料成分敏感的特性，實現(xiàn)了低成本、高精度的硅基材料中硅、氧含量測試。