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PECVD硅片自動(dòng)上下料機(jī)用收片盒及放置裝置

1256   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 20:41:07
本實(shí)用新型提供了一種PECVD硅片自動(dòng)上下料機(jī)用收片盒及放置裝置,涉及新能源技術(shù)領(lǐng)域,包括收片盒、和放置裝置,放置裝置包括有U形槽、升降板和液壓升降機(jī),U形槽內(nèi)嵌入設(shè)置有升降板,升降板的底部表面中央焊接設(shè)置有液壓升降機(jī),U形槽的左側(cè)表面外部貫穿設(shè)置有進(jìn)氣管,U形槽的內(nèi)側(cè)表面中央嵌入設(shè)置有傾斜管,升降板的上表面中央焊接設(shè)置有定位塊,收片盒包括有傾斜底板、海綿層和貫穿槽。本實(shí)用新型通過傾斜管的設(shè)置使得氣管中的氣體通過進(jìn)氣管進(jìn)入到傾斜管從傾斜管吹出,氣體吹出使得硅片從自動(dòng)上下料機(jī)上的軌道上滑落時(shí)減輕硅片對收納盒內(nèi)部表面的撞擊力,且使得硅片與硅片之間不易發(fā)生摩擦,從而導(dǎo)致出現(xiàn)劃痕。
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