本實(shí)用新型涉及一種尾氣回收設(shè)備，具體的說(shuō)是無(wú)水氟化氫溶劑法制備六氟磷酸鋰工藝的尾氣回收設(shè)備，屬于六氟磷酸鋰制備設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。其包括冷卻器、精餾塔、塔頂冷凝器、塔釜接收罐、一級(jí)降膜吸收塔、二級(jí)降膜吸收塔、一級(jí)鹽酸罐、二級(jí)鹽酸罐、尾氣填料吸收塔、緩沖罐、水力噴射器和水箱所述冷卻器第一進(jìn)氣端通過(guò)管道連接反應(yīng)釜，冷卻器第一出氣端通過(guò)管道連接精餾塔進(jìn)氣端，冷卻器第二出氣端通過(guò)管道連接一級(jí)降膜吸收塔進(jìn)氣端。本實(shí)用新型能夠減少環(huán)境的二次污染，回收的氟化氫液體返回六氟磷酸鋰生產(chǎn)中循環(huán)使用，減少投資成本；運(yùn)行成熟有效，維護(hù)、檢修概率低。