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生長6英寸鉭酸鋰晶體的方法

793   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 22:09:49
本發(fā)明涉及壓電晶體技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種生長6英寸鉭酸鋰晶體的方法,包括以下步驟:a)將鉭酸鋰原料裝入鉑銥合金坩堝內(nèi),抽真空后,沖氮氣至正壓;b)升溫加熱至1600~1645℃,是原料熔融;c)按下降籽晶,當(dāng)籽晶下降至坩堝口0位時停止下降,將稱重重量清零;d)根據(jù)籽晶重量變化調(diào)整引晶溫度,及籽晶的下降或上升速率,完成引晶后,晶體進(jìn)入自動生長;e)本通過實時調(diào)整放肩生長和等徑生長的提拉速度控制晶體結(jié)晶速率,完成晶體生長后上拉晶體,使其脫離熔融液。
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