本實(shí)用新型涉及氟資源尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其是電子級(jí)氟化鋰裝置尾氣處理系統(tǒng)，包括降膜吸收塔、水吸收塔、堿洗滌塔、循環(huán)泵和煙囪，降膜吸收塔的尾氣出口連接水吸收塔，水吸收塔的上端連接堿洗滌塔，煙囪設(shè)置在堿洗滌塔的上端，堿洗滌塔通過第一開關(guān)閥連接循環(huán)泵，循環(huán)泵通過第二開關(guān)閥連接堿洗滌塔的右上部，水吸收塔的下端通過吸收液進(jìn)口連接降膜吸收塔。本實(shí)用新型有益效果：本實(shí)用新型通過降膜吸收塔、水吸收塔和液堿噴淋洗滌結(jié)合的方式保證對(duì)含氟尾氣的高效吸收，并回收利用了尾氣中的氟，避免造成氟資源的浪費(fèi)；液堿噴淋吸收后的尾氣達(dá)到排放濃度限值的要求。