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鋰離子電池基材表面鍍膜機(jī)構(gòu)

990   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 22:52:46
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種鋰離子電池基材表面鍍膜機(jī)構(gòu),包括真空箱體、升降驅(qū)動(dòng)件、濺射鍍膜裝置,濺射鍍膜裝置包括支撐連接板、屏蔽罩和陰極結(jié)構(gòu),陰極結(jié)構(gòu)固定連接在屏蔽罩內(nèi),支撐連接板的下方固定連接有遮擋板,遮擋板上均勻開(kāi)設(shè)有多個(gè)矩形孔;水冷裝置的底端與陰極結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng),本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置屏蔽罩阻擋靶材向周?chē)鸀R射,同時(shí)保證陰極濺射穩(wěn)定和膜層厚度一致性較好,并通過(guò)設(shè)置在靶材與基材之間的遮擋板,使得通過(guò)矩形孔濺射到基材上形成的膜層形狀規(guī)則,并且鍍膜層寬度與矩形孔寬度相同,每條鍍膜層之間均有間隙,方便后續(xù)切割和連接電極線(xiàn);并且可以通過(guò)水冷裝置對(duì)陰極結(jié)構(gòu)進(jìn)行降溫,提高使用壽命。
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“鋰離子電池基材表面鍍膜機(jī)構(gòu)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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