本發(fā)明提供一種高效散熱結構的集成電光波導調(diào)制器及其制備方法，該發(fā)明采用了一種高效散熱結構，利用金剛石作為鈮酸鋰襯底的散熱材料，并采用液體毛細鍵合工藝實現(xiàn)鈮酸鋰襯底與金剛石薄片之間的良好接觸，不會引入熱阻和光學損耗，利用金剛石的高熱導率特性實現(xiàn)對電光波導調(diào)制器內(nèi)部熱量的疏散，實現(xiàn)調(diào)制器內(nèi)部熱場的均勻分布，本發(fā)明的調(diào)制器具有結構簡單、工藝容易實現(xiàn)、成本低等優(yōu)點，可廣泛應用于激光通信、光纖傳感和光信號處理等領域。