本發(fā)明公開了一種反射延遲線型聲表面波濕度傳感器，所述聲表面波濕度傳感器包括壓電基底(1)，壓電基底(1)上表面設(shè)置聲表面波叉指換能器(2)和聲表面波反射柵(4)，聲表面波反射柵(4)設(shè)置在聲表面波叉指換能器(2)的兩側(cè)，在聲表面波叉指換能器(2)和一側(cè)的聲表面波反射柵(4)之間設(shè)置鍍膜區(qū)(3)，鍍膜區(qū)(3)的表面涂覆敏感層(5)。本發(fā)明通過采用耐輻射性強(qiáng)的敏感層結(jié)構(gòu)、鈮酸鋰壓電基底及鋁電極結(jié)構(gòu)，確保了傳感器在輻射環(huán)境下的穩(wěn)定性，相對濕度區(qū)間為10％?100％的條件下，可以達(dá)到5％的靈敏度，用于核電站反應(yīng)堆冷卻系統(tǒng)管道泄露監(jiān)測的可解決核冷卻管道泄露高濕度監(jiān)控布線難、維護(hù)難的問題。