本發(fā)明公開(kāi)了一種利用摻雜硅顆粒制備納米多孔硅的方法，該方法包括選用一定摻雜濃度的硅顆粒，氫氟酸清洗后，選用硝酸鹽、氫氟酸、氧化劑配制的溶液反應(yīng)并進(jìn)行超聲輔助，再經(jīng)離心清洗，最后通過(guò)稀硝酸清洗等后處理制備的三維納米多孔硅。本發(fā)明通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)篩選出，最佳的化學(xué)刻蝕腐蝕劑的組成，反應(yīng)試劑的體積比和具體濃度，反應(yīng)時(shí)間、反應(yīng)溫度、超聲頻率及處理時(shí)間具體的反應(yīng)步驟等最佳工藝參數(shù)，制備得到的高純度的三維摻雜多孔硅，孔形規(guī)則，布置均勻，可應(yīng)用于鋰電池、太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體、傳感器等領(lǐng)域。本發(fā)明整個(gè)工藝可操作性強(qiáng)，成本低廉，并且產(chǎn)量高，適合于工業(yè)化大生產(chǎn)。