優(yōu)選金屬鎢板做電解槽陽極，優(yōu)用原料氟化鋰鈹共晶體做電解質(zhì)，熔點范圍適合電解且無氟化氫成分，能從源頭上切斷四氟化碳及氟化氫等有害成分對成品六氟化鎢的污染。電解槽內(nèi)生成的六氟化鎢氣體以及夾帶的熔融鹽揚塵和少量未與金屬鎢反應(yīng)的氟氣沿電解槽氣體出口管進入氣體純化罐，用揚塵過濾板及揚塵吸附劑去除六氟化鎢夾帶的電解質(zhì)微塵；用鎢微球反應(yīng)層將未反應(yīng)的少量氟氣全部轉(zhuǎn)化成六氟化鎢，用微孔過濾器將夾帶的金屬鎢微粒全部濾掉，最終產(chǎn)出高純六氟化鎢氣體。本發(fā)明實現(xiàn)了電解法直接合成高純六氟化鎢，具有工藝路線簡潔、成品雜質(zhì)少、收率高，綜合生產(chǎn)成本極具競爭力等優(yōu)點。