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氮化硼納米片連續(xù)薄膜、其制備方法與應用

982 編輯：管理員來源：中冶有色網(wǎng)

2023-03-19 00:24:30

本發(fā)明公開了一種氮化硼納米片連續(xù)薄膜、其制備方法與應用。所述制備方法包括：在基底上覆設(shè)前驅(qū)物薄膜，之后在含氮反應氣氛高溫反應，制得所述氮化硼納米片連續(xù)薄膜；所述前驅(qū)物薄膜包括至少三種元素，其中的兩種元素分別為硼、氧元素，其余元素選自鋰、鈹、鎂、鈣、鍶、鋇、鋁、鎵、銦、鋅、鈦和硅中的任意一種或多種的組合。本發(fā)明的制備方法可以直接在Si等基底上合成氮化硼連續(xù)納米片(即氮化硼納米片連續(xù)薄膜)，無需金屬催化劑的參與，也無需任何轉(zhuǎn)移工序，工藝簡單可控，成本低廉，并且所獲的氮化硼納米片連續(xù)薄膜可直接作為石墨烯等二維納米材料的生長基底，進而利于構(gòu)建石墨烯器件的襯底和/或柵極等，具有巨大的應用前景，能實現(xiàn)批量生產(chǎn)。

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