本發(fā)明涉及電致變色裝置制作期間的顆粒去除。電致變色裝置使用顆粒去除操作來(lái)制作，所述顆粒去除操作減少以下情況的發(fā)生：電子導(dǎo)電層和/或電致變色活性層接觸具有相反極性的層并且在形成缺陷的區(qū)域中產(chǎn)生短路。在一些實(shí)施方案中，所述顆粒去除操作不是鋰化操作。在一些實(shí)施方案中，所述顆粒去除操作在電致變色層或?qū)﹄姌O層的沉積期間的中間階段執(zhí)行。