本發(fā)明公開一種金屬氧化物納米膜及其制備方法，具體公開了一種改善鋰金屬表面濕潤性，提高固態(tài)電解質(zhì)和電極之間界面接觸能力的方法。制備方法包括：(1)將聚丙烯酸(PAA)和金屬鹽溶于有機溶劑，通過旋轉(zhuǎn)涂布到襯底上；(2)金屬離子和聚丙烯酸中的羧基配位形成絡合物，生成的粘膜粘附在基板表面；(3)然后將樣品在>520℃下退火去除有機分子，從而將配位化合物轉(zhuǎn)化為目標金屬氧化物納米膜產(chǎn)物。這種配位輔助沉積(CAD)工藝還可以用來生產(chǎn)多層涂層。研究表明，該路線是一種經(jīng)濟可行、可放大實現(xiàn)工業(yè)化的制造方法，可以替代氣相沉積技術，從而加速高性能固態(tài)電池的實際應用開發(fā)。